將被干燥物放入密閉容器中排出空氣并降低壓力干燥方法稱為真空干燥法，這種機(jī)器稱為真空干燥機(jī)；與使用一般溫暖空氣干燥相比，真空干燥機(jī)可以使物體干燥快三倍。
  
真空干燥機(jī)的干燥是在封閉的容器中完成的，因此它不受太陽或熱空氣提供的熱量的影響，如暖風(fēng)干燥。該方法需要某種類型的加熱，以防止伴隨水分蒸發(fā)的干燥物體的溫度下降。為了防止干燥物體的溫度下降，在將物體放入容器之前提高溫度；加熱整個(gè)容器以利用輻射熱來加熱干燥物體；用容器中的加熱板傳導(dǎo)熱量加熱干燥物體。
  
真空干燥機(jī)迫使窄間隙和管內(nèi)的壓力降低，這使間隙中的水分蒸發(fā)得更快。另外，除非烘干物體內(nèi)部的溫度過度下降，否則由于碰撞現(xiàn)象而滯留在狹窄間隙中的水分可能會(huì)吹出，這進(jìn)一步加速了干燥。因此，使用容積足以排出蒸發(fā)的水分進(jìn)行真空干燥的泵可以使任何多孔或甚至類似粉末的物體均勻地從內(nèi)部全干燥。
 
如果按先升溫加熱再抽真空的程序操作，加熱的空氣被真空泵抽出去的時(shí)候，熱量必然會(huì)被帶到真空泵上去，從而導(dǎo)致真空泵溫升過高，有可能使真空泵效率下降。
 
加熱后的氣體被導(dǎo)向真空壓力表，真空壓力表就會(huì)產(chǎn)生溫升。如果溫升超過了真空壓力表規(guī)定的使用溫度范圍，就可能使真空壓力表產(chǎn)生示值誤差。正確的使用真空干燥機(jī)，應(yīng)該先抽真空再升溫加熱。待達(dá)到了額定溫度后如發(fā)現(xiàn)真空度有所下降時(shí)再適當(dāng)加抽一下。